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歐傑電子能譜儀(AES) - iST宜特
歐傑電子能譜儀(Auger,AES)是一種利用電子束作為激發源的高靈敏度表面分析(surface analysis)技術，樣品偵測深度小於10nm。AES具有奈米級單點分析以及極表面(＜10nm)的分析 ...
歐傑電子能譜分析儀(FE-AES) - 服務項目-MAtek 閎康科技
A. XPS分析光源是以X-ray去激發樣品表面來偵測光電子；AES是以電子束分析樣品表面來偵測Auger電子，而電子束的beam size較小，所以針對分析區域小於30um的樣品(如chip上的pad, ...
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