| 2026/6 | 0.14 | -39.16 | -84.05 | 2.47 | -9.5 | 1.63 | N/A | | | 本月單月相較去年同期減少，主係代理設備出貨減少所致。 |
| 2026/5 | 0.23 | -82.04 | -75.03 | 2.33 | 25.09 | 1.76 | N/A | | | 本月單月相較去年同期減少，主係客製化設備銷售減少所致。 |
| 2026/4 | 1.26 | 360.7 | 336.3 | 2.1 | 120.32 | 1.62 | N/A | | | 本月及本年累計營收增加，主係代理之實驗室設備銷售增加及自有設備出貨所致。 |
| 2026/3 | 0.27 | 235.25 | 19.32 | 0.84 | 26.42 | 0.84 | 0.69 | | | - |
| 2026/2 | 0.08 | -83.16 | -17.89 | 0.57 | 30.16 | 1.15 | 0.5 | | | - |
| 2026/1 | 0.49 | -17.34 | 44.39 | 0.49 | 44.39 | 1.24 | 0.47 | | | - |
| 2025/12 | 0.59 | 247.27 | 87.37 | 4.59 | -31.79 | 0.88 | 0.57 | | | 本月營收增加，主係測試設備銷售增加所致。 |
| 2025/11 | 0.17 | 33.67 | 59.33 | 4.01 | -37.61 | 0.9 | 0.56 | | | 本月營收增加，主係客製化機台出貨增加及光學儀器銷售增加所致。 |
| 2025/10 | 0.13 | -79.03 | -40.32 | 3.84 | -39.23 | 0.96 | 0.52 | | | - |
| 2025/9 | 0.6 | 164.06 | -26.88 | 3.71 | -39.2 | 0.98 | 0.55 | | | - |
| 2025/8 | 0.23 | 49.8 | -41.98 | 3.11 | -41.12 | 1.24 | 0.43 | | | - |
| 2025/7 | 0.15 | -82.35 | -84.57 | 2.88 | -41.05 | 1.92 | 0.28 | | | 本期營收減少，主係研發部門用大型長交期設備交貨減少所致。 |
| 2025/6 | 0.86 | -4.78 | 18.5 | 2.73 | -30.01 | 2.06 | 0.36 | | | - |
| 2025/5 | 0.91 | 213.88 | 25.1 | 1.86 | -41.19 | 1.43 | 0.52 | | | - |
| 2025/4 | 0.29 | 25.99 | 59.64 | 0.95 | -60.89 | 0.62 | 1.2 | | | 本期單月營收增加主係代理之量產設備出貨增加，累計營收減少主係研發部門用大型長交期設備交貨減少。 |
| 2025/3 | 0.23 | 130.68 | -72.37 | 0.66 | -70.56 | 0.66 | 0.84 | | | 本期營收減少，主係無研發部門用大型長交期設備交貨所致。 |
| 2025/2 | 0.1 | -70.4 | -35.5 | 0.44 | -69.5 | 0.75 | 0.75 | | | 本期營收減少，主係無研發部門用大型長交期設備交貨所致。 |
| 2025/1 | 0.34 | 7.26 | -73.62 | 0.34 | -73.62 | 0.76 | 0.74 | | | 本月營收減少，主係無研發部門用大型長交期設備交貨所致。 |
| 2024/12 | 0.31 | 195.28 | -76.28 | 6.73 | -49.9 | 0.63 | 1.11 | | | 本月營收減少，主係無研發部門用大型長交期設備交貨所致。 |
| 2024/11 | 0.11 | -49.93 | -89.55 | 6.42 | -47.02 | 1.14 | 0.61 | | | 本月營收減少，主係客製化機台出貨減少及終止部份代理所致。 |
| 2024/10 | 0.21 | -74.31 | -71.98 | 6.31 | -43.13 | 1.43 | 0.49 | | | 本期營收減少，主係出售驗證業務及終止部份代理所致。 |
| 2024/9 | 0.82 | 109.55 | -5.51 | 6.1 | -41.02 | 2.21 | 0.28 | | | - |
| 2024/8 | 0.39 | -60.16 | -68.13 | 5.28 | -44.3 | 2.11 | 0.29 | | | 本月單月相較於去年同期減少，主係無研發部門用大型長交期設備交貨所致。 |
| 2024/7 | 0.99 | 35.55 | -1.94 | 4.88 | -40.72 | 2.44 | 0.25 | | | - |
| 2024/6 | 0.73 | 0.52 | 26.91 | 3.89 | -46.13 | 1.64 | 0.49 | | | - |
| 2024/5 | 0.73 | 300.53 | -61.9 | 3.17 | -52.44 | 1.74 | 0.46 | | | 本期營收減少，主係出售驗證業務、研發部門用設備出貨減少及終止部份代理所致。 |
| 2024/4 | 0.18 | -78.2 | -83.49 | 2.44 | -48.64 | 1.17 | 0.69 | | | 本月單月相較於去年同期減少，主係驗證服務收入部門已於111年12月出售及本月無研發部門用大型長交期設備交貨。 |
| 2024/3 | 0.83 | 438.65 | -19.18 | 2.26 | -38.19 | 2.26 | N/A | | | - |
| 2024/2 | 0.15 | -87.89 | -86.81 | 1.43 | -45.62 | 2.75 | N/A | | | 本月單月相較於去年同期減少，主係適逢農曆春節影響大型長交期設備交貨延遲所致。 |
| 2024/1 | 1.27 | -3.54 | -12.55 | 1.27 | -12.55 | 3.61 | N/A | | | - |
| 2023/12 | 1.32 | 30.0 | 33.63 | 13.44 | -29.8 | 3.09 | N/A | | | - |
| 2023/11 | 1.02 | 34.29 | -18.46 | 12.12 | -33.25 | 2.65 | N/A | | | - |
| 2023/10 | 0.76 | -13.34 | -56.04 | 11.1 | -34.34 | 2.86 | N/A | | | 本月單月相較於去年同期減少，主係驗證服務收入部門已於111年12月出售及本月無研發部門用大型長交期設備交貨。 |
| 2023/9 | 0.87 | -29.32 | -61.21 | 10.35 | -31.88 | 3.12 | N/A | | | 本月單月相較於去年同期減少，主係111年9月有大型設備出貨予客戶研發部門，本月無此大型長交期設備交貨。 |
| 2023/8 | 1.24 | 22.55 | -30.82 | 9.47 | -26.78 | 2.82 | N/A | | | - |
| 2023/7 | 1.01 | 75.44 | -45.29 | 8.24 | -26.14 | 3.49 | N/A | | | - |
| 2023/6 | 0.57 | -69.82 | -70.39 | 7.23 | -22.35 | 3.58 | N/A | | | 本月單月相較於去年同期 194,070仟元減少，主係主係驗證服務收入部門已於111年12月出售及長交期半導體失效分析設備出貨延遲。 |
| 2023/5 | 1.9 | 73.53 | 9.72 | 6.66 | -9.69 | 4.03 | N/A | | | - |
| 2023/4 | 1.1 | 6.72 | -6.85 | 4.75 | -15.68 | 3.29 | N/A | | | - |
| 2023/3 | 1.03 | -12.12 | -51.57 | 3.65 | -18.01 | 3.65 | N/A | | | 本月單月相較於去年同期 212,254仟元減少，主係市場的需求不足及資金緊張所致。 |
| 2023/2 | 1.17 | -19.71 | 13.17 | 2.63 | 12.49 | 3.62 | N/A | | | - |
| 2023/1 | 1.46 | 47.41 | 11.95 | 1.46 | 11.95 | 3.69 | N/A | | | - |
| 2022/12 | 0.99 | -20.68 | -87.67 | 19.15 | -61.73 | 3.96 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收2,352M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,915M相較去年同期2,652M減幅28%。 |
| 2022/11 | 1.25 | -27.6 | -74.67 | 18.16 | -56.78 | 5.22 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收1,984M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,816M相較去年同期2,217M減幅18%。 |
| 2022/10 | 1.72 | -23.53 | -51.36 | 16.91 | -54.4 | 5.76 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收1,745M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,691M相較去年同期1,964M減幅14%。 |
| 2022/9 | 2.25 | 26.05 | -48.86 | 15.19 | -54.72 | 5.88 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收1,549M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,519M相較去年同期1,806M減幅16%。 |
| 2022/8 | 1.79 | -3.07 | -58.0 | 12.94 | -55.61 | 5.57 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收1,317M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,294M相較去年同期1,598M減幅19%。 |
| 2022/7 | 1.84 | -5.06 | -44.33 | 11.15 | -55.2 | 5.52 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收1,085M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計1,115M相較去年同期1,405M減幅21%。 |
| 2022/6 | 1.94 | 11.85 | -58.39 | 9.31 | -56.87 | 4.85 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收968M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計931M相較去年同期1,191M減幅22%。 |
| 2022/5 | 1.74 | 47.29 | -47.54 | 7.37 | -56.45 | 5.04 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收834M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計737M相較去年同期859M減幅14%。 |
| 2022/4 | 1.18 | -44.5 | -58.17 | 5.64 | -58.61 | 4.33 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收676M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計564M相較去年同期686M減幅18%。 |
| 2022/3 | 2.12 | 105.34 | -41.25 | 4.46 | -58.73 | 4.46 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收543M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計446M相較去年同期537M減幅17%。 |
| 2022/2 | 1.03 | -20.57 | -61.33 | 2.34 | -67.51 | 10.35 | N/A | | | 去年同期累計有快消品營收431M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期累計234M相較去年同期288M減幅19%。 |
| 2022/1 | 1.3 | -83.76 | -71.17 | 1.3 | -71.17 | 14.24 | N/A | | | 去年同期有快消品營收314M，自111年1月始已無此營收; 半導體本期130M相較去年同期138M減幅5%。 |
| 2021/12 | 8.02 | 62.96 | 19.08 | 50.03 | 35.21 | 16.48 | N/A | | | 本年累計營收:半導體2,652M、轉列停業單位(快消品)2,352M；本月營收:半導體434M、轉列停業單位(快消品)368M。 |
| 2021/11 | 4.92 | 39.03 | -4.7 | 42.01 | 38.79 | 12.86 | N/A | | | 本年累計營收:半導體2,217M、轉列停業單位(快消品)1,984M；本月營收:半導體253M、轉列停業單位(快消品)239M。 |
| 2021/10 | 3.54 | -19.61 | 18.61 | 37.09 | 47.74 | 12.19 | N/A | | | 本年累計營收:半導體1,964M、轉列停業單位(快消品)1,745M；本月營收:半導體158M、轉列停業單位(快消品)196M。 |
| 2021/9 | 4.4 | 3.52 | -2.0 | 33.55 | 51.67 | 11.96 | N/A | | | 累計增加:快消品886M(已列待售部門，單月233M、累計1,549M)、半導體設備551M，減少:驗證服務294M。 |
| 2021/8 | 4.25 | 28.48 | 65.35 | 29.15 | 65.35 | 0.0 | N/A | | | 累計營收:半導體1,598M、轉列停業單位(快消品)1,317M。累計增加:快消品815M、半導體設備659M，減少:驗證服務300M、二手設備22M。 |
| 2021/7 | 3.31 | -29.03 | 71.67 | 24.9 | 65.35 | 0.0 | N/A | | | 累計營收:半導體1,405M、快銷品1,085M。累計增加:快消品763M、半導體設備529M、其他13M，減少:驗證服務305M、二手設備16M。 |