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Auger Electron Spectroscopy
Aujie Electron Spectrometer (AES) and X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) can be used to analyze the surface texture and chemical structure of materials.
歐傑電子能譜儀(AES) - iST宜特
歐傑電子顯微鏡(Auger, AES)具有奈米級單點分析以及極表面(＜10nm)的分析能力，搭配機台內離子槍蝕刻(Ar)可得到各層元素在不同深度間的分布比例。
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