マテリアルフロー分析 - 愛玩股

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TWI567819B - 用脈衝電漿之原子層蝕刻 - Google Patents

要注意此傳統的ALET方法需要極長的蝕刻循環，舉例而言，每個循環大約150秒。再者，延長化學吸附(1)和蝕刻(3)的時間，則蝕刻速率趨近於每個循環一個原子層，但代價是增加循環時間 ...

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本研究之目的為分析CMP Pad 專利之發展趨勢，包. 含隨著時間的演變，CMP Pad 專利的整體、各國、各廠商、各產業及各技術類. 別的發展趨勢；並以專利引證與被引證機率進行CMP ...

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堅挺，新興市場容易吸引資金流入 - Moomoo

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用tdmat或tdeat透過peald形成含鈦膜之方法

舉例而言，無氨無氧反應氣體為不含氮氣之氫氣，且無氨含氧氣體為氧氣，從而形成一由TiO膜與TiN膜組成之TiON膜，其係於設定之時間間隔交替沉積。

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