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瑞耘靜電吸盤 搜尋引擎推薦回答

技術應用- 靜電吸盤- 瑞耘科技股份有限公司

特色Features. 多層結構包含氦氣與冷卻通道; 以氧化鋁/鎢做表面噴塗、可選擇單極或雙極結構; 電極: 崩潰電壓>5000V DC; 使用特殊工藝在表面形成的凸起圖案及氦氣溝槽 ...

靜電吸盤產品資訊 - 瑞耘科技

瑞耘科技設計與製造的陶瓷靜電吸盤產品，可應用於真空系統中保持半導體和非導體(矽晶圓、玻璃)基板的吸附。我們亦將靜電吸盤應用延伸至自動化領域，使靜電吸附功能可廣泛 ...

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