PSM光罩 - 愛玩股

PSM 光罩搜尋引擎推薦回答

PSM光罩(相位偏移光罩) - 台灣光罩股份有限公司

相位偏移光罩產品主要應用在<0.18微米製程的CONTACT與FINE LINE光罩。台灣光罩提供Half tone PSM. 地址：新竹科學園區創新一路11號電話：+886-3-5634370

台灣光罩股份有限公司

目前已採用OPC及PSM技術大量生產0.18、0.15、0.11及0.09微米光罩，展現台灣光罩在IC工業中積極之企圖心及責任感，共同與IC業者以更快的速度推進至更微細的境界。

其它人也問了

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CN1470943A - 光罩组合及其形成细线图案的曝光方法 - Google Patents

本发明揭露一种光罩组合，包括：一第一光罩，具有平行且交错排列的复数相位0度透光 ... 本发明的主要特征在于利用一相位移光罩(PSM)(例如：交错式相位移光罩)与一传统 ...

半導體器件用光掩模| TOPPAN PHOTOMASK

移相掩模（Phase-Shifting Mask：PSM）指透過控制光的相位及透過率，改善對晶圓曝光時的分辨率及焦點深度（DOF：Depth of Focus），是提高了復刻特性的光掩模。

[PDF] 相轉移光罩技術 - 材料世界網

光罩技術更是微影成像中不可或缺的重. 要一環。有先進的光罩技術可延長同一 ... 相轉移光罩的概論及原理、製程技術及 ... 相轉移光罩(PSM, Phase-Shift Mask)的；.

光罩工業及其製程技術之探討 - CTIMES

在光罩的製作技術部分，大致可以分成傳統光罩、相位移光罩技術（ Phase Shift Mask；簡稱PSM）、光學近接修正光罩技術（Optical Proximity Correction；簡稱OPC）等三種。

業務與服務 - 台灣美日先進光罩股份有限公司

2.光學近距修正光罩（Optical Proximity Correction Mask）的製作銷售。 3.相位移光罩（Phase Shift 6 inch Mask）：（a）Half-Tone PSM （b）Alternating PSM

确保光掩模图形准确且零缺陷至关重要，对高端芯片更是如此。一個光罩是一片熔融矽石（石英）板，通常為6平方英寸（約152平方毫米），其上覆蓋著 ...

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