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光罩- 維基百科,自由的百科全書

光罩(英語:Photomask、Mask、Reticle)係生產積體電路所需之模具,在半導體製程中,利用微影技術,在半導體上形成圖型,為將圖型複製於晶圓上,必須透過光罩作用的原理。 比如沖 ...

光罩

光罩​​是一片熔融矽石(石英)板,通常為6平方英寸(約152平方毫米),其上覆蓋著在微影製程中由不透明、透明和相偏移區域所組成的圖案,被投影到晶圓上,以定義單層積體電路的佈局 ...

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