DB FIB/EDS. Dual Beam FIB 雙束聚焦離子束. Precision cut for the defectives for different kinds of material. Sample preparation for TEM, SEM, ...
MSS PFIB搭載目前最新設計切削速率更可提升20倍以上,適用長寬深大於100um以上樣品大範圍面積觀察,並減少過往GaFIB在製備樣品的損傷。
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